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干式真空泵在半导体行业的选型应用

时间:2018-10-24 14:03

来源:未知

作者:Denair

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干式真空泵种类很多,如果按照工作原理分类的话,可分为两类:容积式干式真空泵和动量传递式干式真空泵。这两类的干式真空泵,各自的特点又有哪些呢? 一般干式真空泵的特点为:清洁;安全;耐磨;造价低;维修方便;性能稳定;振动小,噪音低。正因为有这些特性,干式真空泵才有着更加有意义的价值和更广泛的使用。在清洁的要求方面,一些用油润滑的干式真空泵都会有一个潜在的油蒸气的污染源存在,必须采取一定措施加以解决这个问题。

在半导体产业主要应用对象的干式真空泵,会在许多抽气工艺过程中出现一些颗粒物,一般说来,在干式真空泵中出现颗粒物有三种情况:
1、当泵内压力增高时引起气固变相过程的发生;
 
2、在泵内产生反应气体的生成物;
 
3、抽气过程混入的颗粒物。
 
防止颗粒物在泵中形成的更好措施有:
 
1、恰当提高泵温。物质的升华、凝结是压力和温度的函数,且函数联系随物质的不同而不同,所以调整泵的温度可避免气固变相进程的发作。
 
2、下降参加化学反响气体的浓度。单位时间内气体反响生成物(颗粒)的数量可用反响率来表明,而反响率和反响气体浓度成指数联系,所以在生产工艺中充入惰性气体,减少反响气体浓度是下降生成颗粒物的更有效的办法,通常这类泵紧缩气体之前就通入惰性气体,避免固体颗粒物的发生。
 
3、增加抽气通道中的气流速度,为避免处于悬浮状态的固体颗粒物堆积,使气体的流动速度大于颗粒物堆积的临界速度(即更大下降速度),在泵内及早充入适量的气体,使气流速率大于颗粒堆积临界速度,保证颗粒物实现气动运送,但是充入气量不能过大,过大的气量将影响泵的极限压力,在不同的抽气体系中,经过试验断定更佳充入气量。
 
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